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光学材料:中国科学院上海光学研究所提高飞秒激光多光子聚合加工精度
发布时间:2021-02-28 20:06:09   来源:枣庄热线
 

  

最近,中国科学院上海光学机密机械研究所薄膜光学实验室公布了最新的研究成果:优化苏-8光刻胶中的溶剂含量,以细化多光子聚合(多光子聚合,MPP)的特征尺寸。

采用负环氧光刻胶SU-8,通过设置不同的预焙时间,获得不同的溶剂含量,研究了溶剂含量对多光子聚合中聚合反应特征尺寸的影响。

采用长焦距单脉冲曝光法评价溶剂的作用,通过显微镜下测量聚合物的尺寸,结果表明,当溶剂含量仅为4%时,聚合物的粒径减小了40%左右,由于溶剂较小,光离子诱导的H离子从高浓度到低浓度的迁移率受到抑制,导致聚合物特征尺寸的细化。

总之,蒸发溶剂的加入可以提高SU-82075光刻胶中MPP的特性尺寸,降低溶剂含量约4%,使聚合物的粒径减小约40%。

溶剂含量的调整显示了在不影响聚合度的情况下细化多光子聚合特征尺寸的潜力,为优化多光子聚合的加工精度提供了一种新的思路。

与文件链接:

https://doi.org/10.1016/j.optmat.2021.110800

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